成長装置
	MOVPE成長装置
	電子ビーム蒸着装置
	CVD装置

特性測定装置
	γ線計測装置
	検出器アレイ特性評価装置
	I-V，C-V測定装置(計測装置)
	フォトルミネッセンス計測装置
	X線回折装置
	ホール測定装置